Zerodur是一種鋰鋁硅酸鹽玻璃陶瓷，由德國肖特生產，熱膨脹系數(shù)跟于康寧UlE玻璃相當，（在0~50°C范圍內約為0±0.007×10^−6/K）在數(shù)個領域當中均有出色的表現(xiàn)，而今天我們將介紹Zerodur玻璃在光刻機、蝕刻、沉積和