Zerodur是一種鋰鋁硅酸鹽玻璃陶瓷，由德國肖特生產(chǎn)，熱膨脹系數(shù)跟于康寧UlE玻璃相當(dāng)，（在0~50°C范圍內(nèi)約為0±0.007×10^−6/K）在數(shù)個領(lǐng)域當(dāng)中均有出色的表現(xiàn)，而今天我們將介紹Zerodur玻璃在光刻機(jī)、蝕刻、沉積和